当社の【小型・高精度】なデジタル水準器が選ばれる理由

製造ラインの稼働率と歩留まり向上は、半導体メーカーにとって永遠の最優先テーマです。その達成において、意外と見落とされがちながら極めて重要な役割を果たすのが『水平出し（レベル出し）』です。
一般的な工作機械と比べると、高度に自動化された半導体製造ラインでは、デジタル水準器に求められる性能がまったく異なります。

今回は、当社の小型・高精度デジタル水準器が、なぜ現場のプロフェッショナルに選ばれているのか、その理由をご紹介します。

1.「点」ではなく「線」で捉える半導体ラインの精度

一般的な工作機械（旋盤やマシニングセンタなど）や産業機械は、基本的に単体完結型です。そのため、「機械ベース（土台）」の水平が取れていれば、まず問題ありません。
一方、半導体製造ラインは、複数の装置が数メートル〜十数メートルにわたって連結された巨大システムです。ウェハがスムーズに流れるためには、

✔装置単体の水平

✔装置と装置の“つながり”の水平

この両方を高い次元でそろえる必要があります。
つまり、半導体ラインの水平管理は、「点」ではなく「線」での精度管理が求められる世界なのです。

2.ロボットアームの「たわみ」という盲点

半導体製造の主役となるのが、高速で動く搬送ロボットです。ここで重要になるのは、機械ベースの水平だけでなく、「ロボットアーム上の水平」です。ところが、従来の大きくて重い水準器をアームに載せると、

❌水準器が重い→アームがわずかに沈む
❌その結果、正しい水平が測れない

という問題が起きがちです。その点、当社のデジタル水準器なら

・超小型・軽量設計
・アームに負荷をかけず、本来の姿勢をそのまま測定

できるので、「測る行為が精度を狂わせる」という矛盾を、小型化で解決しました。

【参考データ】
　300mmウェハの重量：約130g
　当社水準器（有線式）：約70g

→ウェハよりも軽いため、ロボットアームに載せてもアームがたわまず、高精度測定が可能です。

3.災害復旧・メンテナンス時の圧倒的な機動力

日本において避けて通れないのが地震の影響です。大きな地震の後は、床のわずかな歪みによりライン全体の水平がズレることもあります。
半導体ラインの復旧には、連結部すべての再測定・再調整が必要となります。このとき、計測器が大きくて重いと、それだけで作業時間が膨大になります。

その点、当社のデジタル水準器は、

・ポケットに入るサイズ
・それでいて据え置き型クラスの高精度

狭い隙間、装置の奥、高さのあるアームの上でも、サッと出してすぐ測定。
この機動力こそが、ダウンタイム短縮に直結します。

ダウンタイムを最小限に抑える“スピード感”こそが、当社デジタル水準器の大きな強みです。

「小は大を兼ねる」坂本電機製作所のデジタル水準器

一般的には「大は小を兼ねる」と言われますが、デジタル水準器の世界ではその逆。
当社は「小は大を兼ねる」こそが真理だと考えています。

小型だからこそ、

・大きなベースの水平出し
・狭い場所の測定
・繊細なロボットアーム上の測定

これらを1台でカバーできます。
しかも、サイズからは想像できない0.001°の測定精度。

・今の計測器が重すぎる
・狭い場所で測れない
・もっと効率よく水平管理したい

そんなお悩みがあれば、ぜひ一度、当社のラインナップをご覧ください。
現場で「ちょうどいい」と感じていただけるはずです。

有線式　2軸精密デジタル水準器　SELN-001B

無線式　2軸精密デジタル水準器　SELN-121BM（国内版）

無線式　2軸精密デジタル水準器　SELN-131BM（海外版）