Application

ウエハー搬送機

半導体製造装置では複雑な搬送システムを持っており、ウエハーの表面処理工程ではロボットアームによるプロセスユニットからの取り出し、及び格納を行います。また、移送工程では取り落としや衝突が許されません。よって、ロボットアームとプロセスユニットは相互に厳しい位置決めが必要となります。

そこで重要なのはロボットアームの位置制御とウエハーを出し入れするアームの水平レベル出しです。

もし水平レベルが出ていなければ、ウエハー同士に衝突が起こり、プロセス処理がません。

弊社のデジタル水準器はウエハー程度の重さなので既存の水準器を置くことができない、ロボットアームの先端に置いて測定することができます。