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ウエハー研磨装置

半導体製造装置におけるウエハーの研磨工程では貼り付けられたウエハーを含む上盤と研磨クロスの敷かれた回転テーブル(下盤)とがそれぞれ平坦性を維持する必要があります。もし不具合があるとウエハーが偏肉となり平面度がとれなくなり、均一な研磨が不可能となります。また、露光時には焦点が合わなくなります。

ウエハーは、後の露光工程に向けて平坦仕上げが最も重要で、そのために研磨工程において平坦を維持するものになる必要があります。

弊社のデジタル水準器は上定盤と下定盤の平坦度を確保するために使用されます。